SEM5000場發射掃描電鏡是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優化的操作和使用流程,無論經驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。
肖特基
場發射電子槍
1.0 nm @ 15 kV,SE
1.5 nm @ 1 kV,SE
0.8nm @ 30 kV,STEM
1 ~ 2,500,000 x
20 V ~ 30 kV
五軸全自動樣品臺
分辨率高,低加速電壓下實現高分辨成像
電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品
高壓隧道技術(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉,有效的降低系統像差,提升分辨能力
水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性
磁偏轉六孔可調光闌,自動切換光闌孔,無需機械調節,實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
關鍵參數 | 分辨率 |
1.0?nm @ 15 kV,SE 0.8 nm @ 30 kV,STEM |
加速電壓 | 20 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
電子槍類型 | 肖特基場發射電子槍 | |
樣品室 | 真空系統 | 全自動控制 |
攝像頭 |
雙攝像頭 (光學導航+樣品倉內監控) |
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樣品臺行程 |
X: 120 mm,Y: 115 mm,Z: 50 mm (* 可選配超大倉體版本) |
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探測器和擴展 | 標配 |
鏡筒內高角度電子探測器 側向低角度電子探測器 |
選配 |
插入式背散射電子探測器 軌跡球 & 旋鈕控制板 |
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軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統 | Windows | |
導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |